1、重复性:多次检测同一个样品，或者检测多个同一个含量样品的样本，看样本的误差，一般用变异系数表达这个误差，越小越好，这个指标主要是表达仪器的可信度，精密度以及是否稳定。
2、检测下限：指可检出规定含量的低下限，一般以三倍噪声为标准，一般用污染少、灵敏度高的元素进行检测，例如电化学用镉离子，原子吸收用铜离子表达。这个指标表示微量元素分析仪的灵敏度。微量元素分析仪的选购条件
3、相关系数：不同浓度元素与线性方程的回归系数，大为1，数字越接近1越好。至少也要达到0.99以上。
4、校准曲线偏差：用一个已知量与标准曲线的某一点进行偏差比较，越小越好，一般小于10%。能够满足这些就是一台合格的检测仪。
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